SEM——Cross-Section

仪器简介：

扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

用途：

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

SIGMA 300场发射扫描电镜技术介绍：

分辨率： 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）

样品室： 365 mm（φ），275mm（h）

样品台：5轴优中心全自动

X=125mm

Y=125 mm

Z=50 mm

T=-10o-90o

R=360o连续

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

可做测试项目：

形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫（mapping）；可镀金，非磁、弱磁、强磁样品均可拍摄。

1、形貌：仪器放大倍数范围是100倍-20W倍，常规样品可以拍摄到8-10W倍，导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。

2、能谱：SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不准，不建议做）如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。

3、镀金：为了保证拍摄效果，一般导电差或者是强磁性的样品都需要镀金之后进行拍摄。

非磁、磁性（弱磁、强磁）定义：

含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品，吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁。

备注：磁性分硬磁和软磁，有些材料对外不表现磁性，但加磁场后容易磁化，受热后磁性增强。

样品要求：

1. 粉末、液体、薄膜、块体均可。粉末10mg，块体样品直径≤1cm，厚度＜1cm，样品质量不超过200g；

2. 混凝土，珊瑚沙，气凝胶，水凝胶等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm，

3. 需要脆断的样品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些；

4. .矿物，树脂镶嵌类样品等需看不同相分布用背散射模式拍摄请提前说明

5. 导电性不好或强磁样品建议选择喷金，如果样品由于您要求不喷金而导致效果不好，测试老师可能不好安排复测；实验室常用靶材是纯铂（Pt），需要能谱时待测元素不能与靶材重合，对靶材有特殊需求请提前说明。

6. 请务必仔细检查您的样品，若发现以弱磁强磁充当非磁 或者 以强磁充当弱磁非磁，我们将可能无法安排您的实验，不承担以此造成的时间和样品损失；而且因隐瞒样品信息导致仪器损坏，可能需要您承担全部赔偿责任！